bubbler

Definition, Bedeutung

  • Ein Bubbler bzw. Bubbler-System, manchmal auch als Dampfdrucksättiger bezeichnet, ist ein Bestandteil einer Anlage zur metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und Atomlagenabscheidung (ALD).
(Definition ergänzt von Laurens am 16.11.2016)
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